ГОСТ Р 8.659-2009. Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Вид документа	ГОСТ
Статус	Действует
Документ принят организацией
Документ внесен организацией	Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Разработчик документа	Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)
Дата принятия в МГС
Дата начала действия	2011-01-01
Дата последней редакции	2019-08-12
Страны действия
Где применяется	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Код ОСК	17.020

На этой веб странице вы можете приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 8.659-2009. Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки". ГОСТ был принят в МГС и начал действовать 2011-01-01. Дата последней редакции 2019-08-12. Сейчас документ действует в следующих странах: .