ГОСТ Р 8.628-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Вид документа	ГОСТ
Статус	Действует
Документ принят организацией
Документ внесен организацией
Разработчик документа	Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
Дата принятия в МГС
Дата начала действия	2008-02-01
Дата последней редакции	2011-02-10
Страны действия
Где применяется	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Код ОСК	17.040.01

На этой веб странице вы можете ознакомиться и приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 8.628-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления". ГОСТ был принят в МГС и начал действовать 2008-02-01. Дата последнего издания 2011-02-10. Сейчас документ действует в следующих странах: .