ГОСТ Р 8.627-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Вид документа	ГОСТ
Статус	Действует
Документ принят организацией
Документ внесен организацией	Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Разработчик документа	Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Дата принятия в МГС
Дата начала действия	2007-07-01
Дата последней редакции	2007-04-24
Страны действия
Где применяется	Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
Код ОСК	17.020

На этой странице у вас есть возможность ознакомиться и приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 8.627-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений". Документ был принят в МГС и начал действовать 2007-07-01. Дата последней редакции 2007-04-24. На данный период времени документ принят в таких странах: .