ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Вид документа	ГОСТ
Статус	Действует
Документ принят организацией
Документ внесен организацией	Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Разработчик документа	Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)
Дата принятия в МГС
Дата начала действия	2009-01-01
Дата последней редакции	2008-05-15
Страны действия
Где применяется	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Код ОСК	17.020

На этой странице у вас есть возможность приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки". Документ был принят в МГС и начал действовать 2009-01-01. Дата последней редакции 2008-05-15. На данный период времени документ действует в таких странах: .