ГОСТ Р 8.716-2010. Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Краткая информация о документе
Вид документа |
ГОСТ |
Статус |
Действует |
Документ принят организацией |
|
Документ внесен организацией |
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии |
Разработчик документа |
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») |
Дата принятия в МГС |
|
Дата начала действия |
2012-01-01 |
Дата последней редакции |
2019-07-11 |
Страны действия |
|
Где применяется |
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур |
Код ОСК |
17.020 |
На данной web странице вы можете ознакомиться и приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 8.716-2010. Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений". Документ был принят в МГС и начал действовать 2012-01-01. Дата последней редакции 2019-07-11. На данный период времени документ действует в таких странах: .
ГОСТы которые могут вас заинтересовать
Список ГОСТов
ГОСТ 8.008-72. Государственная система обеспечения...
ГОСТ 8.009-84. Государственная система обеспечения...
ГОСТ 8.010-2013. Государственная система обеспечен...
ГОСТ 8.018-2018. Государственная система обеспечен...
ГОСТ 8.019-85. Государственная система обеспечения...
ГОСТ 8.021-2015. Государственная система обеспечен...
ГОСТ 8.024-2002. Государственная система обеспечен...
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечен...