ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Краткая информация о документе
| Вид документа |
ГОСТ |
| Статус |
Действует |
| Документ принят организацией |
|
| Документ внесен организацией |
|
| Разработчик документа |
|
| Дата принятия в МГС |
|
| Дата начала действия |
1973-09-01 |
| Дата последней редакции |
1973-10-04 |
| Страны действия |
|
| Где применяется |
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| Код ОСК |
31.260 |
На данной web странице у вас есть возможность приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции". ГОСТ был принят в МГС и начал действовать 1973-09-01. Дата последнего внесения изменений 1973-10-04. На данный момент ГОСТ принят в таких странах: .
ГОСТы которые могут вас заинтересовать
Список ГОСТов
ГОСТ 2.746-68. Единая система конструкторской доку...
ГОСТ 4.431-86. Система показателей качества продук...
ГОСТ 2388-70. Фотоэлементы селеновые для фотометри...
ГОСТ 3518-80. Стекло оптическое бесцветное. Метод ...
ГОСТ 3519-91. Материалы оптические. Методы определ...
ГОСТ 3520-92. Материалы оптические. Методы определ...
ГОСТ 3521-81. Стекло оптическое. Метод определения...
ГОСТ 3522-81. Материалы оптические. Метод определе...
