ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Краткая информация о документе
| Вид документа |
ГОСТ |
| Статус |
Действует |
| Документ принят организацией |
|
| Документ внесен организацией |
Госстандарт России |
| Разработчик документа |
Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ" |
| Дата принятия в МГС |
|
| Дата начала действия |
2005-01-01 |
| Дата последней редакции |
2004-07-02 |
| Страны действия |
|
| Где применяется |
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
| Код ОСК |
71.080.99 |
На этой веб странице вы можете ознакомиться и приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия". Документ был принят в МГС и начал действовать 2005-01-01. Дата последнего внесения изменений 2004-07-02. На данный момент документ действует в следующих странах: .
ГОСТы которые могут вас заинтересовать
Список ГОСТов
ГОСТ 159-52. Жидкость охлаждающая низкозамерзающая...
ГОСТ 988-89. Жидкость этиловая. Технические услови...
ГОСТ 2080-76. Натрий уксуснокислый технический. Те...
ГОСТ 6867-77. Смачиватель НБ. Технические условия...
ГОСТ 7927-75. Ксантогенаты калия бутиловый и этило...
ГОСТ 20298-74. Смолы ионообменные. Катиониты. Техн...
ГОСТ 20301-74. Смолы ионообменные. Аниониты. Техни...
ГОСТ 25821-83. Жидкость ПГВ. Технические условия...
