ГОСТ 8.592-2009. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Вид документа	ГОСТ
Статус	Действует
Документ принят организацией	Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации
Документ внесен организацией	Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Разработчик документа	Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)
Дата принятия в МГС	2009-11-11
Дата начала действия	2010-11-01
Дата последней редакции	2019-12-06
Страны действия	Республика Армения;Республика Беларусь;Республика Казахстан;Кыргызская Республика;Республика Молдова;Российская Федерация;Республика Таджикистан;Республика Узбекистан;Украина
Где применяется	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Код ОСК	17.040.01

На данной веб странице у вас есть возможность ознакомиться и приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ 8.592-2009. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления". ГОСТ был принят в МГС 2009-11-11 и начал действовать 2010-11-01. Дата последней редакции 2019-12-06. На данный период времени документ действует в таких странах: Республика Армения;Республика Беларусь;Республика Казахстан;Кыргызская Республика;Республика Молдова;Российская Федерация;Республика Таджикистан;Республика Узбекистан;Украина.