ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Краткая информация о документе
| Вид документа |
ГОСТ |
| Статус |
Действует |
| Документ принят организацией |
|
| Документ внесен организацией |
|
| Разработчик документа |
|
| Дата принятия в МГС |
|
| Дата начала действия |
1983-07-01 |
| Дата последней редакции |
1982-05-04 |
| Страны действия |
|
| Где применяется |
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники |
| Код ОСК |
23.160 |
На данной веб странице вы можете приобрести ГОСТ на тему "ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования". ГОСТ был принят в МГС и начал действовать 1983-07-01. Дата последней редакции 1982-05-04. На данный период времени документ принят в следующих странах: .
ГОСТы которые могут вас заинтересовать
Список ГОСТов
ГОСТ 2.796-95. Единая система конструкторской доку...
ГОСТ 5.1150-71. Насосы высоковакуумные диффузионны...
ГОСТ 5.1807-73. Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5...
ГОСТ 5197-85. Вакуумная техника. Термины и определ...
ГОСТ 9887-70. Механизмы исполнительные пневматичес...
ГОСТ 9986-78. ГСП. Преобразователи электропневмати...
ГОСТ 9988-84. Устройства регулирующие пневматическ...
ГОСТ 13373-67. Механизмы исполнительные пневматиче...
